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當線圈輸入控制電流信號時，產生電磁力矩，使銜鐵帶動與其剛性聯接的擋板產生偏轉。兩噴嘴腔壓差改變時，閥芯即在壓差驅動下作用，帶動小球運動使彈性反饋桿變形，從而向銜鐵組件施加一個反饋力矩，直到這個反饋力矩與力矩馬達的電磁力矩平衡，銜鐵停留在某個相應的偏轉角上。此時反饋桿的變形使擋板被部分地拉回中位，最終閥芯的驅動力與液動力平衡，閥芯停留在相應的位移上，此時伺服閥輸出一個對應的流量，實現了由控制電流對輸出流量的控制。

油路沖洗

目前航天使用的電液伺服閥，為適應航天型號重量輕、安裝空間小、工作環境惡劣的需求采取集成、緊湊的結構設計，其中節流孔、射流盤等核心組件尺寸小，具有精密微小孔和微小型腔結構特征，如圖3、圖4所示，尺寸一般在0.10～0.80mm之間；閥套類零件則為精密深孔且具有通油環槽、密封槽結構，如圖5所示；殼體類零件則多為形狀復雜的異形槽、盲孔、斜孔、階梯孔等。

電液伺服閥以液壓油作為工作介質，在工作過程中對于多余物的存在十分敏感，多余物來源可分為外部引入、內部產生[2]，存在于液壓系統內部的死角，如盲孔、小孔、配合表面縫隙以及各密封結構處，直接影響產品的性能，嚴重時可導致伺服閥工作失效，多余物可能存在于零件制造、裝配及調試各個環節，零件加工過程和裝配前均要求進行清洗，為了預防多余物殘留，在調試前需進一步進行高壓液流沖洗。無論是噴嘴擋板式還是射流管式伺服閥，其前置級都是基于噴射射流的基本原理，形成射流流場。由于從噴嘴和射流管噴出的油液速度非常快，而流場的尺度又很小，因此該射流流場中常常伴隨有較強的剪切流動，甚至在某些特定的工況下，伺服閥會產生高頻的自激噪聲，并伴隨著強烈的壓力脈動[3]，前置級性能穩定性直接影響伺服閥的壓力零漂、溫度零漂以及抖動等，為了保證伺服閥調試合格率，因而需要對前置級性能穩定性進行初步篩選，通過壓力對稱性篩選檢測射流盤的兩個接收腔的壓力對稱性和壓力穩定性，如圖7所示，p1、p2為兩個接收腔的壓力。前置級篩選時，需要保證額定工作壓力范圍內噴嘴或射流盤兩腔壓力差值滿足設計要求，并將壓力抖動幅度控制在一定范圍內，避免工作時壓力脈動太大引起前置級不穩定。

以下是MOOG伺服閥部分型號展示：

 D633-7399

 D136-001-007

 D630-022G

 0514R15A1RPV32SM28JZ 0514.500.025

 D682-4003A

 D661-6452C

 D661-4580D G35HOCA4NSM5HO

 D765-1099-S63JXGMEUSX0

 D633-440B-R16K01 D0NSX2

 D633-533B-R16KO1 D0NSX2

 D663-4007/L03HABD6VSX2-A

 D661-4651G35JOAA6VSX2HA

 D061-9310

 D691-Q60DBAABNVSON

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